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2023-12-20 发布于四川
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衍射光波导及其的制造方法.pdf

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本发明提供了一种衍射光波导及其的制造方法。衍射光波导的制造方法包括：步骤S1：获取内部掺杂金属离子的高折射率基底，在高折射率基底上沉积SiO2层；步骤S2：在SiO2层上沉积金属隔离层；步骤S3：在金属隔离层上涂布光刻胶并通过曝光、显影形成多个间隔的遮挡结构；步骤S4：采用干法刻蚀的工艺，刻蚀掉裸露在外部的金属隔离层以形成多个间隔的子金属层；步骤S5：去除遮挡结构；步骤S6：在裸露的部分SiO2层中，采用金属离子注入方式在SiO2层中形成多个间隔的折射率调制光栅，相邻两个折射率调制光栅之间的区域

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117250684A

(43)申请公布日2023.12.19

(21)申请号202311241495.2

(22)申请日2023.09.22

(71)申请人舜宇奥来微纳光电信息技术（上海）

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