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本发明公开了一种纳米压印模具的图像缺陷检测方法，属于图像处理技术领域，包括以下步骤：S1、采集纳米压印模具的当前工作图像，并在数据库中为纳米压印模具的当前工作图像匹配标准工作图像；S2、对当前工作图像进行更新，得到最新工作图像；S3、将最新工作图像与标准工作图像进行对比，确定最新工作图像的异常区域，将最新工作图像的异常区域作为纳米压印模具的缺陷区域。本发明公开了一种纳米压印模具的图像缺陷检测方法，在进行缺陷检测前，通过图像匹配约束条件为纳米压印模具的当前工作图像匹配最适合用于缺陷比对的历史工作图
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117252878A
(43)申请公布日2023.12.19
(21)申请号202311535530.1
(22)申请日2023.11.17
(71)申请人青岛天仁微纳科技有限责任公司
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