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本申请提供一种微机电压力传感器及其制备方法。微机电压力传感器，包括：第一衬底；压敏感应组件，压敏感应组件位于第一衬底的一侧；压敏感应组件包括压敏电阻；介质层，介质层位于压敏感应组件背离第一衬底的一侧；第二衬底，第二衬底的一侧开设有凹槽；其中，介质层与第二衬底具有所凹槽的一侧贴合以围合成密闭腔体，腔体在第一衬底的正投影覆盖压敏电阻在第一衬底的正投影。本申请通过使介质层与第二衬底具有凹槽的一侧贴合以形成密闭腔体，具有封装尺寸小、制作工序简单等优势。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117246973A
(43)申请公布日2023.12.19
(21)申请号202311536537.5G01L1/18(2006.01)
(22)申请日2023.11.1
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