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本发明提供了一种异丙醇和氮气的混合装置，包括：反应腔、异丙醇注入管路、氮气管路、设置于反应腔的导流板和鼓泡结构、及与反应腔连通的循环系统。通过导流板与鼓泡结构相结合的设置，增大氮气和异丙醇的接触面积，提高反应腔内的氮气和异丙醇的混合效率；进一步的，通过循环系统将反应腔内未混合充分的汽体输送回反应腔内进行循环混合，至反应腔内的氮气和异丙醇充分混合，形成液滴粒度小且均匀的异丙醇蒸汽和氮气的混合汽体，以此使得用此混合汽体对晶圆进行干燥时得以提高晶圆干燥的时效。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117244487A
(43)申请公布日2023.12.19
(21)申请号202311545534.8F26B21/14(2006.01)
(22)申请日2023.11.
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