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本发明公开了一种晶圆储存盒仓储用自动化存取一体柜，包括柜体、进料机构、搬运机构和氮气供应机构，所述进料机构设置于柜体正面，所述进料机构包括进料箱，所述进料箱一端与柜体固定连接，所述进料箱内部开设有一号腔室和二号腔室，所述一号腔室设置于二号腔室正上方，所述一号腔室一侧与柜体内部相连通，所述一号腔室内部安装有一号输送机，所述柜体内部安装有二号输送机，所述二号输送机一端延伸至一号腔室内部。本发明通过进料机构和搬运机构的配合，方便在封闭的柜体内部对晶圆料盒进行自动存取，进料机构上设置有封堵板和真空泵，方
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117246669A
(43)申请公布日2023.12.19
(21)申请号202311286547.8
(22)申请日2023.10.07
(71)申请人捷螺智能设备（苏州）有限公司
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