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本申请提供一种三轨天车轨道及其设计方法，所述方法包括：提供一种三轨天车轨道；设置参考点，以所述参考点为圆心建立坐标系，定义所述三轨天车轨道中任意分叉点的坐标为(x，y)，其中，横坐标x为所述分叉点与所述参考点的水平方向距离，纵坐标y为所述分叉点与所述参考点的竖直方向距离；根据每个分叉点的坐标获取所述三轨天车轨道的进口到每个生产设备的距离；根据所述三轨天车轨道的进口到每个生产设备的距离获取所述三轨天车轨道的运输效率值；根据所述运输效率值确定所述三轨天车轨道的结构。本申请所述的三轨天车轨道及其设计方
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117251975A
(43)申请公布日2023.12.19
(21)申请号202210645516.6
(22)申请日2022.06.09
(71)申请人中芯国际集成电路制造（北京）有限
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