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一种用于碳化硅晶圆的激光退火装置和方法.pdfVIP

一种用于碳化硅晶圆的激光退火装置和方法.pdf

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    本申请涉及激光退火领域，具体而言，涉及一种用于碳化硅晶圆的激光退火装置和方法，其中激光退火装置包括工作台；多个晶圆承载台，放置在工作台上；磁悬浮平面电机，包括定子和多个动子，定子设置在工作台内部，动子设置在晶圆承载台底部；激光源，安装在多个晶圆承载台上方，用于在磁悬浮平面电机驱动多个晶圆承载台位移时产生退火光束以对激光源正下方的晶圆承载台上的碳化硅晶圆进行激光退火。本申请的激光退火方法能解决驱动机构振动使得工艺台上的碳化硅晶圆振动导致激光退火的位置产生偏移和碳化硅晶圆表面的退火一致性差的问题，达

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117253841A

    (43)申请公布日2023.12.19

    (21)申请号202311522284.6C30B33/02(2006.01)

    (22)申请日2023.11.

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