原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本申请提供了一种晶圆测试的数据处理方法、装置、介质和电子设备。本申请首先依据测试目标中任一形状的少量的满足要求的检测点和对应检测点上的测试痕迹生成所述形状的基准信息，然后通过所述形状的基准信息对晶圆中所述形状的所有检测点和测试痕迹进行分析，从中筛选出满足基准信息的检测点信息和测试痕迹信息作为准备数据。其中，生成的基准信息中不仅包括了用于判断检测点的第一长宽比值范围和用于判断测试痕迹的第二长宽比值范围，而且还包括检测点与测试痕迹的位置关系范围。通过各种约束条件中的范围作为分析依据，能够有效避免误判
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117252837A
(43)申请公布日2023.12.19
(21)申请号202311236979.8
(22)申请日2023.09.22
(71)申请人宁波工程学院
文档评论（0）