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一种薄膜体声波谐振器及其金属电极制备方法.pdfVIP

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  • 2023-12-20 发布于四川
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一种薄膜体声波谐振器及其金属电极制备方法.pdf

    本申请属于半导体材料及电子通讯装置技术领域，公开了一种薄膜体声波谐振器及其金属电极制备方法，薄膜体声波谐振器包括从下到上依次层叠的衬底、声反射镜、底电极、压电薄膜和顶电极，底电极与顶电极之间连接有上下电极连接层，底电极的顶部边缘还设置有围绕压电薄膜和顶电极的键合层，键合层的顶部盖接有WLP封装层，WLP封装层顶部设置有与键合层电连接的金属电极，金属电极包括第一金属层、第二金属层以及位于第一金属层和第二金属层之间的导电阻挡层；导电阻挡层把第一金属层和第二金属层分隔，并用于阻挡第一金属层和第二金属层

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117254784A

    (43)申请公布日2023.12.19

    (21)申请号202311505184.2H10N30/87(2023.01)

    (22)申请日2023.11.

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