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本发明公开了晶圆双面抛光设备及工艺，涉及抛光技术领域，包括：第一抛光组件，其为竖向设置；第二抛光组件，其结构同于所述第一抛光组件且与所述第一抛光组件呈上下镜像设置；以及位于所述第一抛光组件与第二抛光组件之间的保持架；其中，所述第一抛光组件和第二抛光组件均至少包括槽体，所述槽体的表面分布有抛光件，所述抛光件包括间隔分布的第一抛光垫和第二抛光垫，所述第一抛光垫与第二抛光垫的抛光区域叠加后能够覆盖待抛光晶圆，利用第一抛光组件抛光待抛光晶圆后呈180°旋转抛光设备并利用第二抛光组件抛光待抛光晶圆。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117245542A
(43)申请公布日2023.12.19
(21)申请号202311533149.1B24B55/02(2006.01)
(22)申请日2023.11.
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