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用于确定液态金属离子源的虚拟源位置的方法.pdfVIP

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  • 2023-12-20 发布于四川
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用于确定液态金属离子源的虚拟源位置的方法.pdf

    本发明公开了，通过特别是在散焦CPB照明盘的边缘处扫描对准孔来确定带电粒子束(CPB)源位置的变化，该对准孔相对于CPB中的束限定孔是固定的。该对准孔可操作以将CPB部分传输到二次发射表面，该二次发射表面产生引导到闪烁体元件的二次发射。作为响应产生的闪烁光通过光导从与该CPB相关联的真空外壳向外引导到外部光电检测系统。

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117253768A

    (43)申请公布日2023.12.19

    (21)申请号202310712927.7

    (22)申请日2023.06.15

    (30)优先权数据

    17/807,3622022

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