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本发明涉及研磨制造领域，特别是涉及一种多类型产品的研磨方法、装置、设备及介质，通过当更改研磨产品类型时，获取更改后的研磨产品类型对应的预设研磨速率及对应的批次系数；根据所述预设研磨速率与所述批次系数，得到待定研磨速率；根据所述待定研磨速率确定首件研磨计划；将所述首件研磨计划发送至研磨设备，使所述研磨设备根据所述首件研磨计划研磨；从所述研磨设备接收样品研磨反馈信息；根据所述研磨反馈信息确定修正系数；利用所述修正系数对所述批次系数进行更新；根据更新过的批次系数及所述预设研磨速率，利用APC反馈进行批
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117260527A
(43)申请公布日2023.12.22
(21)申请号202311482451.9
(22)申请日2023.11.08
(71)申请人星钥（珠海）半导体有限公司
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