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2023-12-23 发布于四川
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本实用新型公开一种同轴光检测装置，其包括载片台、盒体、灯板、导光组件、检测组件和半反半透镜片，载片台形成用于放置工件的放置区；盒体内形成相互连通的光源腔和检测腔，盒体的顶端和底端分别开设有透光口和反光口；灯板设置有多个灯珠；导光组件包括多个排布在灯板上的遮光套筒，遮光套筒包括相对设置的入光端和出光端，出光端开设有出光口，入光端安装于灯板，各灯珠外均罩设有一遮光套筒，遮光套筒的横截面积自入光端向出光端的方向呈渐扩设置；检测组件包括相机和检测单元，相机位于盒体的上方，半反半透镜片设置于检测腔内。本实

(19)国家知识产权局

(12)实用新型专利

(10)授权公告号CN220231499U

(45)授权公告日2023.12.22

(21)申请号202320824385.8

(22)申请日2023.04.06

(73)专利权人矽电半导体设备（深圳）股份有限

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