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集 成 光 学 研 究 现 状

牲各种器件的性能。

1.2光波导调制器

光的调制技术包括内调制技术和外调制技术。所谓内调制是指利用调制信号直接控制激光器的振荡参数，使输出光的特性随调制信号而改变。其面临的主要问题是咽啾效应和调制带宽受限，主要挑战是如何提高激光器的调制频率。外调制是指调制信号作用于激光腔外面的调制器并产生某种物理效应，如电光、热光、声光和磁光效应，使通过调制器的激光束的某一特性随调制信号而改变。外调制技术可以避免内调制技术中出现的咽啾效应，目前人部分系统采用的都是外调制技术。

SOI光波导调制器不但具有尺寸上的优势，而且在功能和性能上也相当出色，已成为光波导调制器的典型代表。通常，波导调制单元利用材料的热光效应、电光效应或等离子色散效应来实现光的调制。因为硅是一种中心对称晶体，不仅不具备线性电光效应，而且二阶电光效应也很弱，所以基于硅材料的光波导调制器只能通过热光效应或者等离子色散效应改变材料的折射率，实现光的调制作用。基于热光效应的调制器称为热光调制器，其缺点是调制速度相对较慢。基于等离子色散效应的调制单元涉及到电学参数的变化称为电光调制器，其调制速度相对较快，缺点在于调制过程中会产生能质的衰减，而且注入的高浓度载流子会影响调制器的性能，电流引起的发热也会带来功率损耗。

本义介绍的光波导调制器是一种硅基调制器，其调制方式主要有热光效应和

电光效