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本实用新型涉及硅片清洗领域。一种改善EL黑斑的硅片清洗装置，包括多个敞口的水洗槽，硅片6依次通过每个水洗槽进行清洗，每个水洗槽的上部都安装有传送滚轴5、挡水滚轴7、喷淋装置8，最后一个水洗槽4上部还安装有风刀9，每个水洗槽中都安装有一个水泵10，多个水洗槽的相邻两个水洗槽中，后一个水洗槽的水泵10通过管道连接前一个水洗槽的喷淋装置8，每个喷淋装置8都通过阀门连接清洁水源，传送滚轴5上套有弹性套51，每个传送滚轴5都连接外界动力源，每个挡水滚轴7都不连接外界动力源。
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220253178U
(45)授权公告日2023.12.26
(21)申请号202321403760.8
(22)申请日2023.06.05
(73)专利权人山西潞安太阳能
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