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自动化衬底支架承载装置.pdfVIP

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  • 2023-12-28 发布于四川
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自动化衬底支架承载装置.pdf

    本发明涉及待用于无尘室中的衬底支架承载装置及含有此类衬底支架承载装置的无尘室处理装置。此外，本发明涉及承载具有第一衬底、更优选地具有第一及第二衬底的衬底支架的方法。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN110352480A

    (43)申请公布日

    2019.10.18

    (21)申请号20188

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