1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

基于网状空腔热阻层结构的薄膜热流传感器及其制备方法.pdfVIP

  • 0
  • 0
  • 约1.17万字
  • 约 12页
  • 2023-12-28 发布于四川
  • 举报

基于网状空腔热阻层结构的薄膜热流传感器及其制备方法.pdf

    本发明提供了一种基于网状空腔热阻层结构的薄膜热流传感器及其制备方法，属于薄膜热流传感器技术领域。已知空气导热系数远小于热阻层材料的导热系数，所以当热阻层内部形成了网状空腔线条之后其整体的导热系数将会有所降低。当热流经过传感器表面时，网状空腔热阻层能比普通热阻层形成更大的温度差，从而提高热流传感器热电动势输出，达到增大灵敏度的目的。热流传感器的响应时间一部分由热阻层的定压比热容和密度决定，网状空腔热阻层的定压比热容和密度都相较于普通热阻层更小，缩短了热流传感器的响应时间。本发明将为薄膜热流传感器提

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117295383A

    (43)申请公布日2023.12.26

    (21)申请号202311261927.6G01K17/08(2006.01)

    (22)申请日2023.09.

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >