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本实用新型提供了一种气缸应力抛光盘装置，抛光主盘上设置有两个间距布置的预设镂空口，预设镂空口内设置有迷你气缸，迷你气缸包括气缸杆端头；抛光主盘的一端设置有球窝，球窝与主轴顶针相藕合构成万向节，气缸杆端头位于远离球窝的一端，气缸杆端头上均设置有抛光层，抛光层的底面超出抛光主盘的底面。本实用新型采用的预设镂空口根据非球面的各点位偏离度设置，预设镂空口内的迷你气缸能提供一个持续的压力，使抛光主盘运转到非球面的任意矢高位置，抛光盘会在非球面各个不同矢高点实现平滑接触，且压力均匀，解决了传统应力盘全盘与零
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220241003U
(45)授权公告日2023.12.26
(21)申请号202321660241.X
(22)申请日2023.06.28
(73)专利权人上海现代先进超精密制造中心有
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