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本发明公开了一种显影方法及显影装置，其中，显影方法包括以下步骤：将掩膜版固定在承载台的承载面上；将喷嘴移动至所述掩膜版上方，打开所述喷气结构，所述喷气结构以预设流速向上喷射压缩空气以在所述承载台的外周形成所述气墙；所述喷嘴喷淋显影液，同时通过驱动组件以第一角速度驱动所述掩膜版转动；所述喷嘴持续以所述第一流量喷淋显影液至预设时间后，将所述喷嘴的流量降低为第二预设值；逐步降低所述压缩空气的流速和所述喷嘴的流量，直至所述喷嘴的流量和所述压缩空气的流速均降低至0；显影终止。本发明通过气墙将显影液留存在掩
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117311106A
(43)申请公布日2023.12.29
(21)申请号202311534950.8
(22)申请日2023.11.17
(71)申请人深圳市龙图光罩股份有限公司
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