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SECSGEM半导体协议数据采集

SEMISECS/GEM标准概述

SECS/GEM是由国际半导体设备与材料协会（SEMI）的会员⼀起构建的连接性标准。

该标准应⽤于在设备和⼯⼚的MES,CIM等控制系统间建⽴通讯。

SECS/GEM是SEMI中的半导体设备通讯标准

⼀般来说，SECS/GEM标准定义了信息、状态机和情境，设备与⼯⼚选择性的实现，来让⼯⼚软件能够控制并监视制造设备。

GEM⼯⼚⾃动化提供了框架，从远程主机监控和控制设备。允许来⾃不同供应商的设

备在制造⼯⼚中⾃动化。

GEM标准定义了⼀组基本的GEM要求和⼀组额外的GEM功能。GEM要求每个GEM

界⾯中都包含特定元素。但是，它⿎励每个接⼝都具有独特的机器特定元素。

在使⽤SECS/GEM标准的⼯⼚内部，存在主机和设备这两者。由设备⽅实施和遵守SEMI标准的运⾏软件。制造商（⼯⼚）构建与设备

接⼝建⽴通讯的主机软件，进⽽实现⼯⼚对设备的控制。

主机选择性实现通讯标准，因为它只设定设备的预期⾏为。如果要使⽤接⼝与功能，主机与设备必须实现具体、清晰功能与⾏为。

SECS/GEMSEMI连接性标准定义了主机和设备开始建⽴通讯的⽅式，并且还定义了当通讯中断时重新建⽴通讯的⽅式。在线识别⽅法

负责验证设备的硬件和软件标识。终端服务功能允许主机操作员和设备操作员在控制台上交换⼿动输⼊的⽂本。

SECS/GEMSEMI连接性标准概括了主机与设备操作员之间的合作等级的控制状态模型。设备提供三种基本的主机控制等级：离线，在

线/本地，以及在线/远程，确定了主机控制和监控设备的能⼒。设备操作员设定主机控制的等级。远程控制功能允许主机发送诸如启“动”、

停⽌“”、暂停“”、继续“”和“中断”这样的指令，⽤以控制设备的⼯作过程。

运作通知

收集事件和警报功能使主机能监控设备的运作情况。设备收集事件功能会将重要的正常活动和异常活动通知主机。当潜在的危险活动出

现并随后被清除时，设备警报功能会通知主机。主机设定哪些收集事件和警报需要通知。SECS/GEM连接性标准要求特定的事件必须有通

知，但⼀般会给设备定义额外的事件，以便主机监控具体设备相关的活动。

事件报告

主机可以将设备配置为在某种状态时⾃动在报告中发送数据。这种强⼤的数据收集⽅法可以收集更多数据。

过程程序管理

处理程序管理提供了在主机和设备之间传输处理程序的⽅法。主机还可以查询可⽤的过程程序列表并删除过程程序。

设备控制和配置

GEM允许主机⽤来控制和配置机器。

远程命令

每个GEM接⼝定义⼀组远程命令。机器也可以实现⾃定义命令。

设备常数

每个GEM接⼝定义⼀组GEM所需的常量。设备常量可以配置设备软件和硬件的⾏为。

⼀段实现

//报警设置

publicvoidAlarmSet(intALID,boolbSet)

{

//eq_alarm_set,ALID,set//eq_alarm_set,ALID,set//eq_alarm_set,ALID,set

m_pImpl.toolCmd(cmd);

}

报警获取列表//

publicListAlarmInfoAlarmGetList()

{

//eq_alarm_get_list

//ALID,ALTX,Enable,Set//ALID,ALTX,Enable,Set

RcResultreply;

reply=m_pImpl.toolCmdReply(cmd);

解析//

ListAlarmInfolistInfo=newListAlarmInfo();

if(reply.rc==0reply.result!=null)

{

string[]listAlarm=null;

string[]element=null;

CListOperate.listSplit(reply.result,reflistAlarm);

for(inti=0;ilistAlarm.Length;i++)

{

CListOperate.listSplit(listAlarm[i]