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本发明提供了一种用于光刻防水涂层的三元共聚物及其制备方法与用途，本发明的三元共聚物由A单体、B单体和C单体共聚制备得到，其中，A单体为1,1,1‑三氟‑2‑三氟甲基‑2‑羟基‑4‑甲基丙烯酸戊酯，B单体为甲基丙烯酸八氟戊酯，C单体为甲基丙烯酸羟乙酯；且x、y、z为三元共聚物中各单体的摩尔百分比，且x:y:z=(40~60):(10~20):(10~20)。本发明的三元共聚物形成的光刻防水涂层组合物与光刻胶表面有高的接触角和优异的碱溶性，以及良好的溶解性，与光刻胶有良好的兼容性，光刻显影时可方便去
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117304395A
(43)申请公布日2023.12.29
(21)申请号202311574993.9C09D133/14(2006.01)
(22)申请日2023.11
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