1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

一种MEMS半导体芯片及其制备方法.pdfVIP

  • 3
  • 0
  • 约1.44万字
  • 约 12页
  • 2023-12-30 发布于四川
  • 举报

一种MEMS半导体芯片及其制备方法.pdf

    本发明涉及半导体芯片技术领域，具体涉及一种MEMS半导体芯片及其制备方法，包括：从下往上依次包括第一材料层、第二材料层、第三材料层和第四材料层，第三材料层的上表面设置有金属电极和检测元件，所述金属电极与所述检测元件电连接，第四材料层包裹所述金属电极和检测元件；第四材料层的材料包括AlN。本发明通过四层材料层，能有效的支撑起检测气体或检测液体时的应力要求，延长MEMS半导体芯片使用寿命，可有效的降低成本，第四材料层的材料包括AlN，第四材料层包裹所述金属电极和检测元件，具有良好的高导热性，能提高液

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117303303A

    (43)申请公布日2023.12.29

    (21)申请号202311403159.3

    (22)申请日2023.10.27

    (71)申请人北京六知科技有限

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >