光源系统和方法.pdfVIP

  • 1
  • 0
  • 约2.27万字
  • 约 17页
  • 2023-12-30 发布于四川
  • 举报
公开了一种光源系统,所述系统包括:多模激光单元;第一小透镜阵列,所述第一小透镜阵列定位在所述激光束的路径中并被配置为在所述第一小透镜阵列下游的选定平面中形成聚焦光斑阵列;空间滤波器掩模,所述空间滤波器掩模携带定位在所述选定平面中的针孔阵列;第二小透镜阵列,所述第二小透镜阵列具有类似于第一小透镜阵列的小透镜空间布置并被定位成使得所述空间滤波器掩模在所述第二小透镜阵列的后焦平面中,由此将来自聚焦光斑阵列的激光准直成对应的子束阵列;以及第三小透镜阵列,所述第三小透镜阵列定位在所述第二小透镜阵列下游,被

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117311084A

(43)申请公布日2023.12.29

(21)申请号202310506721.9

(22)申请日2023.05.06

(30)优先权数据

文档评论(0)

1亿VIP精品文档

相关文档