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掩模的形成方法.pdfVIP

掩模的形成方法.pdf

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    本发明提供掩模的形成方法，能够解决将与各个芯片对应的大小的掩模按照各个芯片进行配设的作业费事不堪的问题。掩模在对通过分割预定线分割成各个芯片的基板的该分割预定线实施金属镀覆时使用，掩模的形成方法包含如下的工序：掩模片准备工序，准备掩模片，该掩模片具有与基板对应的大小，并具有能够粘贴于该基板的上表面的正面；槽形成工序，与该分割预定线对应地将切削刀具定位于该掩模片的正面而形成槽；片粘贴工序，使该基板的上表面与该掩模片的正面面对，使该槽与该分割预定线对应而将该掩模片的正面粘贴在该基板的上表面上；以及槽

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117305763A

    (43)申请公布日2023.12.29

    (21)申请号202310749442.5

    (22)申请日2023.06.20

    (30)优先权数据

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