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2024-01-03 发布于四川
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一种非电极加热型等离子源.pdf

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本实用新型公开了非电极加热型等离子源，其包括具有进口和出口的放电室、电子发射部件、磁性部件以及供气部件，其中供气部件与进口相连通，放电室包括室壁、连接在室壁顶部并形成出口的上电极板、连接在室壁底部并形成进口的下电极板，且室壁与上电极板和/或下电极板构成放电电流回路；电子发射部件与放电电流回路绝缘设置，且电子发射部件包括能够受热发射电子的电子发射件、与电子发射件相连接的加热件，其中电子发射件设置在放电室内并位于气体的流动路径上。本实用新型通过设置独立的放电电流回路，避免放电电流对加热件造成大的负荷

(19)国家知识产权局

(12)实用新型专利

(10)授权公告号CN220292232U

(45)授权公告日2024.01.02

(21)申请号202322028438.8

(22)申请日2023.07.31

(73)专利权人苏州瓴辉光电科技有限公司

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