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半导体芯片光罩盒循环移送装置.pdfVIP

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  • 2024-01-03 发布于四川
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半导体芯片光罩盒循环移送装置.pdf

    本实用新型提供的一种半导体芯片光罩盒的循环移送装置，通过若干个治具的循环运转，实现了光罩盒的自动化循环进出料，提高了光罩盒的存储效率和安全性，避免了人工搬运和仓储管理的低效和风险；通过定位装置对治具的位置进行精确定位，保证了光罩盒在治具上的稳定性和对齐性，避免了光罩盒在传输过程中的偏移或掉落，保护了光罩盒运输稳定。其中，链条、链轮和电机组成驱动装置驱动滚轮在循环轨道上运转，使得光罩盒可以在机壳内按照预设程序进行循环移动和进出料。本实用新型提供了提供一种光罩盒进出料循环装置，能够实现光罩盒的自动化

    (19)国家知识产权局

    (12)实用新型专利

    (10)授权公告号CN220282504U

    (45)授权公告日2024.01.02

    (21)申请号202321475291.0

    (22)申请日2023.06.10

    (73)专利权人苏州艾斯达克智

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