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本发明公开一种光电集成激光器，涉及集成光电子器件技术领域，本光电集成激光器包括层叠设置的硅基芯片层和VCSEL芯片层，所述硅基芯片层和所述VCSEL芯片层之间夹设有超构透镜，所述VCSEL芯片层所发出的光通过所述超构透镜后进行整形，然后进入所述硅基芯片层。本发明光电集成激光器通过在硅基芯片层和所述VCSEL芯片层之间夹设有超构透镜，可以对VCSEL芯片层的出射光进行调整，减小其模斑，并改变其发散角，从而提高耦合效率。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117335267A
(43)申请公布日2024.01.02
(21)申请号202311267902.7
(22)申请日2023.09.26
(71)申请人鹏城实验室
地址518000
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