通过原子层沉积法将纳米二氧化钛与氧化铝有效地包覆在一起.pdf

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AppliedSurfaceScience426(2017)480–496

ContentslistsavailableatScienceDirect

AppliedSurfaceScience

journalhomepage:www.elsev/locate/apsusc

FullLengthArticle

Effectivecoatingoftitaniananoparticleswithaluminaviaatomic

layerdeposition

H.Azizpoura,M.Talebib,F.D.Tichelaarc,R.Sotudeh-Gharebagha,J.Guod,

J.R.vanOmmenb,∗,N.Mostouﬁa,∗

aMultiphaseSystemsResearchLab.,SchoolofChemicalEngineering,CollegeofEngineering,UniversityofTehran,P.O.Box11155/4563,Tehran,Iran

bDelftUniversityofTechnology,FacultyofAppliedScience,vanderMaasweg9,2629HZ,Delft,TheNetherlands

cDelftUniversityofTechnology,KavliInstituteofNanoscience,NationalCentreforHREM,Lorentzweg1,2628CJ,Delft,TheNetherlands

dMulti-PhaseMassTransferReactionEngineeringLab,CollegeofChemicalEngineering,SichuanUniversity,Chengdu610065,China

articleinfoabstract

Articlehistory:Aluminaﬁlmsweredepositedontitaniananoparticlesviaatomiclayerdeposition(ALD)inaﬂuidized

Received13April2017bedreactorat180◦Cand1bar.Onlinemassspectrometrywasusedforrealtimemonitoringofefﬂu-

Receivedinrevisedform30June2017entgasesfromthereactorduringeachreactioncycleinordertodeterminetheoptimaldosingtime

Accepted19July2017ofprecursors.Differentoxygensourceswereusedtoseewhichoxygensource,incombinationwith

Availableonline23July2017

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该用户很懒，什么也没介绍

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