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一种工件内壁形貌检测系统.pdfVIP

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  • 2024-01-06 发布于四川
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一种工件内壁形貌检测系统.pdf

    本实用新型提供一种工件内壁形貌检测系统。该系统包括：光源部，用于形成初始光束；分束镜，用于透过光源部所发出的初始光束而形成多种不同波长的子光束，将射向分束镜的测量光束反射至共焦光谱探测部；色散物镜，用于将不同波长的子光束向色散物镜的光轴的不同位置处聚焦；光束偏折部，用于将向色散物镜的光轴的不同位置处进行聚焦的子光束进行偏折而形成能够射向待测工件的内壁的测量光束；共焦光谱探测部，用于输出待测工件的内壁的形貌检测结果；光束偏折部包括多个反射元件；多个反射元件沿光轴的周向分布，以使得无需旋转光束偏折部

    (19)国家知识产权局

    (12)实用新型专利

    (10)授权公告号CN220305126U

    (45)授权公告日2024.01.05

    (21)申请号202321680384.7

    (22)申请日2023.06.28

    (73)专利权人海伯森技术（深圳）有限公司

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