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《氧化锌铝靶材》

编制说明

一、任务来源

根据国标委发[2022]39号、项目编T-610的文件要求，国家标准《氧化锌铝

靶材》制定任务由先导薄膜材料（广东）有限公司负责完成，标准制定参与单位为：成都中建

材光电材料有限公司、株洲株洲火炬安泰新材料有限公司、芜湖映日科技股份有限公司、深圳

市中金岭南有色金属股份有限公司、广东欧莱高新材料股份有限公司、河北恒博新材料科技股

份有限公司、广东先导稀材股份有限公司、福建阿石创新材料股份公司等，完成年限为2024年。

二、工作简况

1、标准制定的目的和意义

氧化锌铝（简称AZO）靶材是将氧化锌和氧化铝粉末按一定比例混合后经过一系列的生产

工艺加工成型，再经过高温气氛烧结形成的黑色陶瓷材料半导体，氧化锌铝薄膜具有导电率低、

可见光区域透射率高、红外区域反射率高、紫外区域吸收率高等显著特点，这种在光全谱范围

内性能特征的显著性使得AZO靶材在各种科技领域中都有着广泛的应用，在磁控溅射和激光溅

射等辐射薄膜技术中，AZO靶材可作为靶材使用。由于其高密度和良好的热传导性，AZO靶材能

在制备AZO薄膜过程中实现均匀散热，保证涂膜的均匀性，进而提升薄膜制品的性能和稳定性。

因而AZO薄膜材料的光电设备中有着广泛的应用，例如在太阳能电池、平板显示器、触摸屏等

设备中，AZO薄膜不仅可以作为有效的导电介质，而且还能起到光学调制的作用，优化设备的

性能。AZO靶材是制备透明导电薄膜（TCO）的理想材料。透明导电薄膜结合了透明性和导电性

两种优秀性质，这使得AZO薄膜在制造触摸屏、太阳能电池、有机发光二极管（OLED）等设备

时，成为了重要的靶材材料之一。

AZO另一个重要的应用是应用于节能建筑上。AZO靶材因为其良好的热传导性和高光透明度

使其在节能建筑中有着广泛的应用，AZO节能玻璃涂层可以作为智能窗户的一部分，有助于调

节室内温度，从而节省能源。目前在建筑玻璃行业，国产磁控溅射镀膜生产线的生产能力已和

进口的生产线产能和质量已基本相当，AZO靶材磁控溅射的生产成本已远低于贵金属银靶材的

生产成本，市场前景极为广阔。

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氧化锌铝靶材的氧化锌和氧化铝按照不同的比例形成了不同的产品类型，现在市场主要的

质量比类型有ZnO:Al2O398:2和ZnO:Al2O398.85:1.15两种类型。产品的外形有平面

型和管型两种类型，一般称为平面靶和旋转靶。ITO靶材的纯度、电阻率、外观质量、内部缺

陷、相对密度等指标对最终产品质量有着决定性影响。

随着我国的科技进步及产业的发展，以前AZO靶材市场几乎由国外垄断局面已改变为有我

国的ITO靶材产量已占全球AZO靶材市场和产能40%以上，产品覆盖高中低端全范围。

国家标准化管理委员会发布的《2021年国家标准立项指南》第（二）章节强调：加强“碳

达峰”标准化支撑力度，加快新能源开发利用、电力储能、需求侧等的管理，推进能源互联网

标准化工作，推进光伏能源标准体系建设，而氧化锌铝靶材就是极具前景的建筑节能玻璃的核

心基础材料。目前国内外无氧化锌铝靶材标准，制定氧化锌铝靶材国家标准将在产业引和升级

方面起到助推作用，这对于加快建设太阳能及显示技术现代化产业体系，加速壮大高端装备战

略性新兴产业，有重要作用。

2申报单位简介

先导薄膜材料（广东）有限公司成立于2003年5月，坐落在山清水秀的清远市清新区禾云

镇工业区，紧邻清连高速，距广州市区仅90分钟车程，地理位置环境优越，交通便利。是一家

集硒、碲、铋、镓、铟、锗等稀有金属及其化合物的研发、生产、销售为一体的大型高新技术

企业，产品广泛应用于玻璃、陶瓷、电解锰、饲料、电子、通讯、光电半导体材料、热成像、

探测器及太阳能光伏材料等行业。稀散金属硒、碲、铟、镓、锗等以金属量计占全球35%以上

的市场份额。

先导薄膜材料（广东）有限公司是国家高新技术企业，是国家工程技术中心的所在单位，

公司有多项产品如硒化锌红外激光材料和镜片、半导体砷化镓、ITO靶材、碲锌镉靶材、碲锌

镉晶体窗口材料等均是填补了国家战略新型材料空白的产品，并且产品质量和产量均和中国的

发展趋势一般节节攀升。

公司注册资金约1000万美元，占地面积1000余亩，建筑面积