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《氧化铟锡靶材》

编制说明

一工作简况

1.1、任务来源

根据国标委发[2022]6号、项目编T-610的文件要求，GB/T20510-2017《氧化铟锡靶材》

国家标准的修订任务由先导薄膜材料（广东）有限公司负责完成，标准修订参与单位为：株洲冶炼集团股

份有限公司、广西晶联光电材料有限责任公司、芜湖映日科技有限公司、中山智隆新材料科技有限公司、

株洲火炬安泰新材料有限公司、深圳市中金岭南有色金属股份有限公司、成都中建材光电材料有限公司、

上海大学、广东欧莱高新材料股份公司、河北恒博新材料科技股份有限公司、广东先导稀材股份有限公司、

福建阿石创新材料股份有限公司等。

1、2标准修订项目的和意义

氧化铟锡（即IndiumTinOxide，简称ITO）靶材是将氧化铟和氧化锡粉末按一定比例混合后经过一

系列的生产工艺加工成型，再经过高温气氛烧结形成的黑色陶瓷材料半导体，氧化铟锡靶材最主要的应用

是用于磁控溅射制备ITO透明导电薄膜的原料。这种透明导电薄膜对可见光透过率85%，红外光反射率90%，

且导电性好，有优良的化学稳定性、热稳定性和刻蚀性，是一种用途十分广泛的特种薄膜材料，广泛应用

于平板显示器、防辐射玻璃、太阳能光伏电池板等领域。

氧化铟锡靶材的氧化铟和氧化锡按照不同的比例形成了不同的产品类型，现在市场主要的质量比类型

有90:10、93:7、97:3三种类型。产品的外形有平面型和管型两种类型，一般称为平面靶和旋转靶。ITO

靶材的纯度、电阻率、外观质量、内部缺陷、相对密度等指标对最终产品质量有着决定性影响。

随着我国的科技进步及产业的发展，以前ITO靶材市场几乎由日、韩、美垄断局面已改变为有中、日、

韩主导，其中我国的ITO靶材产量已占全球40%以上，产品覆盖高中低端全范围。

ITO靶材主要应用于平板显示PFD市场和薄膜太阳能电池市场，在平板显示面板的生产工艺中，LCD

和OLED玻璃基板均需要多次溅射镀膜形成ITO玻璃，是当前ITO靶材的主要需求，占比将近50%。随着全

球平板显示产业中心逐步向中国转移，在各级地方政府的支持下，众多平板显示国内外厂商加大了在我国

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大陆投资建设面板新产线的力度。2016年我国大陆平板显示产能首次超过我国台湾地区，2019年又继续

超过韩国成为全球最大的平板显示产能地区，占比34%。2018年至2020年，我国大陆显示面板产能将持

续大幅增加，至2022年，我国大陆产能占比达到80%，全球产能向我国大陆集中趋势明显。薄膜太阳能电

池市场是ITO靶材需求的第二增长极。太阳能电池主要分为晶体硅太阳能电池和薄膜太阳能电池，ITO靶

材应用于后者。受限于晶体硅太阳能电池的转换效率已经接近其理论值，而薄膜太阳能电池的转换效率在

逐年提高，加之薄膜太阳能电池理论效率高、材料消耗少、制备能耗低，且产业化技术逐步成熟，未来发

展前景看好。2016-2019全球薄膜太阳能电池产量从4832MW增长至2019年的6432WM，年复合增长率10%，

预计2022年可达7256WM。中国薄膜太阳能电池产量呈现了欣欣向荣的发展趋势。2019年，中国薄膜太阳

能电池产量为862MW，增速12.7%，预计2020-2020也将以类似的增速增长，2022年产量达近1102MW。

ITO靶材是我国明确要求发展的重点高新材料，工业与信息化部发布的《重点新材料首批次应用示范

指导目录（2019版）》第192项的重点高新材料项目为“高密度ITO靶材，应用领域太阳能光伏、电子信

息”。

国家标准化管理委员会发布的《2021年国家标准立项指南》第（二）章节强调：加强“碳达峰”标准

化支撑力度，加快新能源开发利用、电力储能、需求侧等的管理，推进能源互联网标准化工作，推进光伏

能源标准体系建设，而氧化铟锡靶材就是极具前景的异质结光伏电池产业的核心基础材料。

原国家标准GB/T20510-2017《氧化铟锡靶材》是我国在氧化铟锡靶材方面制定的推荐性国家标准，因

为该标准制定时我国的ITO靶材生产尚处于加速发展的初步阶段，ITO靶材生产仍然有许多的认识需要填

补和加强，而现在我国的ITO靶材生产已进入高端化大规模化的生产阶段，对产品的认识也水涨船高，原

标准中已有不符合现在生产的实际情况或不能完整体现现在的实际情况，如牌号的划分和物理规格品种已

等；现在一