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本发明涉及电子产品制造技术领域，具体涉及一种加工设备的补偿校准方法。本发明旨在解决现有倒角机的取料装置转移的晶圆可能会出现较大偏差的问题。为此，本发明的加工设备包括取料装置、检测装置和定位装置，补偿校准方法包括：将晶圆放到定位装置上进行定位；使取料装置将晶圆转移至检测装置；使检测装置检测晶圆的中心点的坐标值；根据晶圆的中心点的坐标值对取料装置的伸出长度和/或旋转角度进行补偿校准。通过增设定位装置对晶圆进行定位，并且可以通过补偿校准方法定期对取料装置的伸出长度和旋转角度进行补偿校准，从而能够使取料
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117373979A
(43)申请公布日2024.01.09
(21)申请号202311308990.0
(22)申请日2023.10.10
(71)申请人青岛高测科技股份
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