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本发明提供一种大口径薄壁硬脆石英坩埚的卧式磨抛一体化装备及方法,包括磨抛定位装置、自动化磨抛装置、磨抛液贮存及输送装置、三维扫描装置、传动装置、设备壳体和控制系统,磨抛定位装置用于实现工件的定位、夹紧;自动化磨抛装置由控制系统控制以完成磨抛工件的磨削和抛光;磨抛液贮存及输送装置用于磨抛液的贮存和输送;三维扫描装置用于扫描磨抛工件的内壁轮廓,并将扫描结果上传至控制系统以进行数据求解与轨迹规划;传动装置用于驱动底座带动磨抛工件的水平移动;控制系统连接于设备壳体前板上,用于监测扫描进程、工件位置、自动
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117359439A
(43)申请公布日2024.01.09
(21)申请号202311499051.9B24B1/00(2006.01)
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