半导体废气处理装置和半导体废气处理方法.pdfVIP

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2024-01-10 发布于四川
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本发明涉及半导体废气处理技术领域，提供一种半导体废气处理装置和半导体废气处理方法，其中半导体废气处理装置包括洗涤塔和与其连接的废气处理组件，废气处理组件包括依次连接的多个废气处理单元，每个废气处理单元包括壳体组件和废气处理设备，壳体组件的内部贯穿设有与废气处理设备连通的通道，壳体组件设有与通道连通的支路连接部件，壳体组件间隔设有第一隔断部和第二隔断部，第一隔断部和第二隔断部位于支路连接部件的同一侧；废气处理设备连接于第一隔断部和第二隔断部之间的壳体组件。本发明提供的半导体废气处理方法基于半导体废

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117358025A

(43)申请公布日2024.01.09

(21)申请号202311314984.6B01D47/06(2006.01)

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