快速鉴别高温辐照环境下碳化硅功率晶体管导通特性的方法.pdfVIP

快速鉴别高温辐照环境下碳化硅功率晶体管导通特性的方法.pdf

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本发明涉及一种快速鉴别高温辐照环境下碳化硅功率晶体管导通特性的方法。该方法涉及的装置由鼓风干燥箱、样品测试版、转接座、导通测试模块和计算机组成,在辐照过程中通过远程控制器对鼓风干燥箱的温度进行控制,利用计算机中的测试软件,设定的电压测试,得到碳化硅垂直双扩散型晶体管导通特性数据,再经过优化拟合为随温度变化的导通特性曲线;再将鼓风干燥箱、样品测试版放在钴60伽马射线辐照室内,得到高温辐照环境下碳化硅功率晶体管导通特性曲线,对辐照前后测试得到的晶体管导通特性曲线进行比对,快速判断是否会对器件的导通性

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117368678A

(43)申请公布日2024.01.09

(21)申请号202311271354.5

(22)申请日2023.09.28

(71)申请人中国科学院新疆理化技术研究所

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