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本发明公开了一种冷却板，包括冷却基板、定位组件和设置在所述冷却基板上的气动悬浮组件；所述定位组件包括标准定位件和限位件，标准定位件和限位件均设置在所述冷却基板外周，所述标准定位件活动设置。所述气动悬浮组件包括呈周向嵌设在所述冷却基板上的若干个带孔吸盘和用于通过气孔向吸盘外吹气的供气模块，若干个所述带孔吸盘的出气量相同，由带孔吸盘输出的气体支撑力与晶圆的自重平衡。本申请的技术方案中，在冷却板处对晶圆进行定位，保证晶圆处于标准位置上，机械臂可将晶圆精准的放置到合适的位置，本方案中可省去光栅尺的结构，
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117389118A
(43)申请公布日2024.01.12
(21)申请号202311506211.8
(22)申请日2023.11.13
(71)申请人合肥开悦半导体科技有限公司
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