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本发明公开了一种薄膜氢气传感器，其包括基底、用于检测氢气浓度的氢气测量单元、键合玻璃，所述氢气测量单元具有4个桥臂的惠斯通电桥结构，所述惠斯通电桥结构由多个电化学特性相同的氢敏电阻元件组成，每个桥臂上的氢敏电阻元件个数相同，其中两个相对的桥臂上为用于氢气测量的氢敏电阻元件，另两个相对的桥臂上为参比氢敏电阻元件。键合玻璃靠近基底的一端设置有凹槽，凹槽壁顶部与基底密封连接而在凹槽内形成密闭空腔，参比氢敏电阻位于密闭空腔内。该传感器生产工艺简单成熟，传感器的灵敏度和测量精度高，且无需加热元件从而大大降
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117388330A
(43)申请公布日2024.01.12
(21)申请号202311519039.X
(22)申请日2023.11.15
(71)申请人苏州海卓赛思科技有限公司
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