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本发明公开一种肖特基阴极制备方法，其采用增材制造技术对肖特基阴极结构进行成型，并且使用的粉体为在打印专用W粉中掺杂能够降低电级的电子势垒金属粉末的混合粉体，之后再对肖特基阴极结构件采用电解抛光法进行减径，且采用电化学腐蚀法制备针尖，形成肖特基阴极。本发明与传统的制备工艺相比，能够更节约W金属材料，并且大幅简化工序、缩短生产周期，同时还能够确保得到的肖特基阴极中，钨丝各处性能均一，避免阴极材料在服役时过早失效的问题出现。且与传统的在肖特基阴极针尖附近涂覆ZrO涂层的方式不同，能够确保得到的肖特基阴
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117393404A
(43)申请公布日2024.01.12
(21)申请号202311348701.X
(22)申请日2023.10.17
(71)申请人广东省科学院半导体研究所
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