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本发明属于半导体技术领域，特别涉及一种精密金属掩膜版生产用柔性滚轮，包括：滚轮支撑架；滚轮轴，固定安装于滚轮支撑架上；环槽，开设于滚轮轴外侧壁上；弹性衬套，套设于滚轮轴外侧，弹性衬套与环槽之间形成可膨胀的环形容纳腔；进气装置，位于滚轮支撑架外一侧；其中，环槽与滚轮轴同轴，进气装置的一端与环形容纳腔连通。本发明的有益效果为：通过柔性滚轮的设置能够更好的匹配被压图形材料的形状，使得被压图形材料受力均匀，把不平直的材料图形能够变成标准平直的材料图形，使图形材料在微观细节层面上变的更加稳定平整。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117380784A
(43)申请公布日2024.01.12
(21)申请号202311327130.1
(22)申请日2023.10.12
(71)申请人浙江众凌科技有限公司
地址31
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