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一种基于聚噻吩/二氧化钛的室温氨气传感器及其制备方法,包括单晶硅衬底,单晶硅衬底的两面设有二氧化硅层,一侧的二氧化硅层上设有金叉指电极,二氧化硅层及金叉指电极表面设有气体敏感材料薄膜,气体敏感材料薄膜由聚噻吩/二氧化钛二元复合材料构成;单晶硅衬底、二氧化硅层以及金叉指电极共同构成传感器芯片;气体敏感材料薄膜接触待测气体即氨气前后电阻会发生变化,通过测量金叉指电极间电阻的变化获得传感器响应值的相关性能;传感器制备方法简单便捷,传感器具有检测限低、响应高的优点,并且能显著降低基线漂移情况。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117388329A
(43)申请公布日2024.01.12
(21)申请号202311329925.6
(22)申请日2023.10.16
(71)申请人西安交通大学
地址710049
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