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具有双导通结构的高性能单面覆晶薄膜的激光刻蚀方法.pdfVIP

具有双导通结构的高性能单面覆晶薄膜的激光刻蚀方法.pdf

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    本发明公开了具有双导通结构的高性能单面覆晶薄膜的激光刻蚀方法，所述底座的顶部设置有安装基座，所述安装基座的左右两侧对称设置有上料机构，且上料机构安装在输送座内，同时输送座固定连接在底座的顶部，所述上料机构之间通过横杆连接。该具有双导通结构的高性能单面覆晶薄膜的激光刻蚀方法，马达驱动第一丝杠旋转，直至罩壳将工件覆盖且橡胶圈与输送带表面接触，紧接着关闭吸附管道上的电动阀门并开启输送管道上的电动阀门，从而即可驱动气泵在限位之后通过罩壳对刻蚀后的工件上的废屑进行抽取，同时马达驱动第一丝杠旋转的同时将带动

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117381173A

    (43)申请公布日2024.01.12

    (21)申请号202311320086.1

    (22)申请日2023.10.11

    (71)申请人浙江晶引电子科技

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