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2023年CVD法制备的ZNS、ZNSE材料项目规划设计方案.docx

2023年CVD法制备的ZNS、ZNSE材料项目规划设计方案.docx

    CVD法制备的ZNS、ZNSE材料项目规划设计方案

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    CVD法制备的ZNS、ZNSE材料项目规划设计方案

    目录

    TOC\h\z2283序言 3

    22360一、CVD法制备的ZNS、ZNSE材料项目文档管理 3

    27541(一)、文档编制与审查 3

    30471(二)、文档发布与分发 4

    26657(三)、文档存档与归档 5

    22193二、工艺说明 7

    4315(一)、技术管理特点 7

    11898(二)、CVD法制备的ZNS、ZNSE材料项目工艺技术设计方案 8

    6199(三)、设备选型方案 9

    24166三、CVD法制

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