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2023年等离子体沉积和刻蚀设备项目计划设计方案.docx

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    等离子体沉积和刻蚀设备项目计划设计方案

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    等离子体沉积和刻蚀设备项目计划设计方案

    目录

    TOC\h\z25923概论 3

    25671一、工艺说明 3

    14723(一)、技术管理特点 3

    7972(二)、等离子体沉积和刻蚀设备项目工艺技术设计方案 4

    27060(三)、设备选型方案 6

    21848二、等离子体沉积和刻蚀设备项目危机管理 7

    14174(一)、危机预警与识别 7

    19880(二)、危机应对与恢复 8

    5156三、产品规划分析 10

    10580(一)、产品规划 10

    25033(二)、建设规模 10

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