AL-WET机台酸浓度测量机构（CMS）的应用与改善.docxVIP

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南京信息职业技术学院

毕业设计论文

作者李锦鑫学号316KS58

系部环境信息学院

专业电子电路设计与工艺

题目AL-WET机台酸浓度测量机构（CMS）的应用与改善

指导教师孙士祥

评阅教师孙可

完成时间：2019年4月11日

毕业设计(论文)中文摘要

(题目)：AL-WET机台酸浓度测量机构（CMS）的应用与改善

摘要：TFT-LCD(ThinFilmTransistor--LiquidCrystalDisplay),薄膜电晶体液晶显示屏，也就是我们俗称的液晶显示屏。液晶显示屏具有很多优点，比如说耗电小，工作电压低，解析度高，无辐射，显示屏本身比较轻薄，便于携带，使用寿命长等，已成为当今社会显示器的应用的主流。

本文对TFT-LCD液晶显示器显示原理进行基本的介绍，再介绍其制作流程，对其制作流程中的蚀刻工艺进行解析，对湿蚀刻制程中最重要的蚀刻液浓度测量机构（CMS）进行详细的介绍，包括运行原理、测量流程、机构构造、特点等方面，通过文字结合图片的方式讲解蚀刻液浓度对整道制程所产生的不良因素，以及对控制其浓度的测量机构（CMS）做出分析与改善。

关键词：TFT制程?湿蚀刻工艺?蚀刻液浓度?浓度测量

毕业设计(论文)外文摘要

Title:ApplicationandimprovementofCMSforal-wetmachine

Abstract:Thinfilmtransistorliquidcrystaldisplay,alsoknownasliquidcrystaldisplay.LCDhasmanyadvantages,suchassmallpowerconsumption,lowworkingvoltage,highresolution,noradiation,thedisplayitselfisrelativelythin,easytocarry,longservicelife,etc.,hasbecomethemainstreamoftodaysdisplayapplications.?

Inthispaper,theprincipleofTFT-LCDdisplayshowsthebasicintroduction,introduceditsproductionprocess,analyzestheproductionprocessofetchingprocess,wetetchingprocessofthemostimportantoftheetchingliquidconcentrationmeasuringmechanism(CMS)isintroducedindetail,includingtheoperationprincipleandthemeasuringprocess,organizationstructure,characteristics,etc.,bythewaycombinedwithphotographsonetchingliquidconcentrationforthewholeprocessofadversefactors,andtocontroltheconcentrationofmeasuringmechanism(CMS)toanalysisandimprovement.

keywords:TFTprocess?wetetchingprocessetchingsolutionconcentrationmeasurement

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目录

TOC\o1-3\h\z\u1?引言 -5-

2?TFT制程基本概论 -5-

2.1?什么是TFT-LCD -5-

2.2TFT显示技术 -6-

2.3?TFT制程工艺流程 -7-

2.4?蚀刻制程在TFT制程中的作用 -10-

3.CMS量测机构是什么？ -12-

3.1