2023年单晶生产炉项目计划设计方案.docx

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单晶生产炉项目计划设计方案

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单晶生产炉项目计划设计方案

目录

TOC\h\z25688序言 3

19565一、产品规划分析 3

26835(一)、产品规划 3

21028(二)、建设规模 4

25944二、工艺说明 5

24116(一)、技术管理特点 5

15458(二)、单晶生产炉项目工艺技术设计方案 6

26372(三)、设备选型方案 7

31048三、单晶生产炉项目选址可行性分析 9

9968(一)、单晶生产炉项目选址 9

24531(二)、用地控制指标 9

25100(三)、节约用地措施 11

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