原创力文档化合物半导体材料项目规划设计纲要
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化合物半导体材料项目规划设计纲要
目录
TOC\h\z5194前言 3
5180一、工艺说明 3
21497(一)、技术管理特点 3
27767(二)、化合物半导体材料项目工艺技术设计方案 4
6279(三)、设备选型方案 5
32171二、化合物半导体材料项目建设单位说明 7
29816(一)、化合物半导体材料项目承办单位基本情况 7
14042(二)、公司经济效益分析 7
28423三、产品规划分析 8
11634(一)、产品规划 8
20105(二)、建设规模 9
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