一种掩膜板污渍智能定位方法和系统.pdfVIP

一种掩膜板污渍智能定位方法和系统.pdf

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本发明公开了一种掩膜板污渍智能定位方法和系统,包括:S1:使用相机拍摄掩膜板图像,并对掩膜板图像进行增强和归一化处理;S2:基于局部区域和统计特性的边缘检测算法,提取归一化后的掩膜板图像的边缘,获得边缘图像;S3:将归一化后的掩膜板图像与边缘图像输入基于深度学习的污渍智能定位网络,获得污渍的位置和类型;S4:基于随机梯度下降算法优化污渍智能定位网络;S5:基于改进的K均值算法对识别出的每一块污渍所在的位置进行分割,得到污渍像素和背景像素。本发明能够准确、稳定地定位掩膜板上的污渍,从而保证掩膜板在

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117422717A

(43)申请公布日2024.01.19

(21)申请号202311744068.6G06V10/44(2022.01)

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