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本发明公开了一种低倾角误差的微差压传感器，包括基座、压敏芯片、引脚和波纹膜片，所述波纹膜片封装在基座的轴向端，用于封装形成充油的封装空间，所述压敏芯片位于所述基座的封装空间内，且正压端朝向所述波纹膜片，所述压敏芯片的背压端通过基座上的测压孔与测量介质接触；所述基座的径向方向上设有安装孔，所述引脚穿过安装孔且烧结在所述安装孔内，所述引脚的一端与所述压敏芯片电气连接。本发明适用于高温、盐雾、霉菌等恶劣环境，又具有较低的倾角误差。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117433690A
(43)申请公布日2024.01.23
(21)申请号202311344920.0
(22)申请日2023.10.17
(71)申请人中国电子科技集团公司第四十八研
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