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空间用变温气体流量控制器流量标定装置及方法.pdfVIP

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  • 2024-01-24 发布于四川
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空间用变温气体流量控制器流量标定装置及方法.pdf

    本发明公开了空间用变温气体流量控制器流量标定装置及方法，空间用变温气体流量控制器流量标定装置，包括气瓶，气瓶一端连接有过滤器，过滤器另一端并联连接冷凝器和加热器，冷凝器和加热器连接气体流量控制器，气体流量控制器另一端连接定容室，定容室另一端连接有真空泵。通过采用加热器与冷凝器来控制进入气体流量控制器的温度，实现气体温度的连续调节。通过真空泵与定容室，保证待标定空间用气体流量控制器的另一侧为接近真空环境，解决了出气口是真空环境的空间用气体流量控制器的地面测试问题。

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117434971A

    (43)申请公布日2024.01.23

    (21)申请号202311152755.9

    (22)申请日2023.09.07

    (71)申请人西安航天远征流体控制股份有限公

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