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本发明提供了一种铜蚀刻液及其配置方法、蚀刻方法及应用,其中,铜蚀刻液包括本1~30份硫酸铈铵、0~20份无机酸、0~20份有机酸和0~90份水;所述无机酸包括硫酸、磷酸、次氯酸、氯酸、硼酸、碳酸、硝酸、亚硝酸和盐酸的一种或多种;所述有机酸包括柠檬酸、醋酸、酒石酸、苹果酸、甲酸、丙酸、丁酸、异丁酸、戊酸、异戊酸、草酸、丙二酸、丁二酸、戊二酸、已二酸、羟基乙酸、丙烯酸、甲基丙烯酸、乳酸、葡萄糖酸、马来酸、苯甲酸和水杨酸的一种或多种。本发明的铜蚀刻液对铜的蚀刻好,对镍铬合金的损伤小。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117448822A
(43)申请公布日2024.01.26
(21)申请号202311410259.9
(22)申请日2023.10.27
(71)申请人深圳市信维通信股份有限公司
地址
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